溅射镀膜仪
仪器编号
NCPSB20021
规格
生产厂家
Cressington Scientific Instrument
型号
CRESSINGTON 108
制造国家
英国
分类号
放置地点
凤凰中心G24
出厂日期
2014-09-20
购置日期
2015-09-25
入网日期
2022-05-26
主要规格及技术指标
1、样品仓尺寸： 120 x 120mm（高），高强度硼硅酸盐透明玻璃；
2、样品台：直径63mm，可放置12个标准SEM样品座，高度可在 60mm内调节；
3、溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，最大180A，配有过流保护；
4、溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，最大电流40mA，程序化数字控制；
5、溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩；
6、模拟计量：真空 Atm - 0.01mb 电流: 0 - 200A。
主要功能及特色
适用于扫描电镜成像中非导电样品镀膜。
主要附件及配置
无
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